ナノ薄膜を形成するための真空装置

マスク交換システムおよびプラズマ源付き電子ビーム薄膜蒸着装置で、試料を大気中に一度も暴露させずに（＝汚れない）パターニングされたデバイスを作製可能です。

fAオーダーまで測定可能な電気計測装置

半導体の電気計測装置としては最も高性能な製品を用いています。2台保有しています。

試料観察のための顕微鏡

試料表面の様子を観察するための一般的な顕微鏡です。観察には電子や光を用います。前任の益子先生の装置である卓上電子顕微鏡や光学顕微鏡があります。

クリーンで安全な環境

研究環境に細心の注意を払っています。ナノデバイスは埃を嫌いますので、綺麗な空気がある空間で作業をします。またドラフトチャンバーと呼ばれる局所廃棄装置を用い、実験で発生するガスを局所的・強制的に廃棄します。これによりクリーンで安全な環境が整っています。

オープンクリーンベンチは、スイッチを入れたら110秒でクラス1の環境（0.1μmの粒子が1m3あたり10個以下）を構築できます。

ドラフトチャンバーは前任の益子先生の装置です。左は塩化ビニル製で耐酸性・耐アルカリ性に優れています。対して右はステンレス製で有機溶剤を使用する作業に適しています。
ドラフト内で作業中に発生したガスは排気ファンにより排気ダクトから強制的に排気され、必要に応じて排ガス処理装置（スクラバー）で洗浄され、大気放出されます。